三维光学(3D)轮廓仪 Model 7503

三维光学(3D)轮廓仪
产品特色
  • 使用白光干涉量測技術,非破壞性、快速表面形貌量測與分析
  • 模組化設計可依量測需求及預算考慮進行各部件選配
  • 提供多種表面參數量測功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度
  • 具備暗點以及邊界錯誤問題修正演算法
  • 友善的人機介面,簡單的圖形化控制系統及3D圖型顯示
  • 可交換式的檔案格式,可儲存與讀取數種3D輪廓檔案格式
  • 提供腳本量測功能,具備自動量測能力

Chroma 7503三维光学轮廓仪乃利用扫描白光干涉技术所发展之次奈米三维光学轮廓量测仪,透过精密的扫描系统以及创新演算法进行微奈米结构物表面轮廓的量测与分析。

Chroma 7503新一代的系统模组化设计,具备高度弹性之组合配置,可针对不同之量测需求配置来符合不同之量测应用;可选择单物镜或搭载电动鼻轮,最多可同时挂载5种物镜,使用时直接切换,省去手动更换的麻烦。可选择搭配手动或电动调整移动平台,可对样品作自动调平及定位。垂直与水准轴向扫描范围大,适合各种自动量测之应用,样品皆不需前处理即可进行非破坏、快速的表面形貌量测与分析,最适合使用于业界研发生产、制程改善以及学术研究等单位。

Chroma 7503搭配使用长行程之垂直轴量测扫描行程可达到60mm,选购高精密之电动移动平台则水准轴向亦可达次微米解析,除此Chroma 7503可透过电脑控制电动移动平台进行水准扫瞄,使其水准轴向量测范围可依据客户需求修改平台尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程式以及演算原理,系统校正结果可以追朔至NIST标准,并结合数种创新且强固可靠的演算法,因此本系列产品可同时拥有高精准度以及大范围量测的特质。

Chroma 7503系统藉由垂直轴自动化移动平台的扫描功能搭配快速的自动对焦演算法,可有效辅助使用者找到最佳的对焦位置,在短短的几秒钟之内无需繁复的操作,系统即可自动将待测物体调整至最佳对焦位置。

目前商用白光干涉分析仪最常使用之质心算法来计算表面高度,因光线绕射的效应在某些位置产生错误高度计算,造成量测结果边界轮廓出现错误的资讯,本系列产品采用最新开发3D Profiler Master量测软体,并搭配Chroma干涉讯号处理演算法来分析白光干涉图谱,可将边界错误问题予以避免。

系统亦搭载Chroma的暗点处理功能,可有效过滤并修正无法产生干涉之问题资料点,将这些暗点去除后可降低量测上的误差。由于暗点处理的机制在资料撷取期间执行,因此暗点滤除功能可有效率的执行,由于暗点乃参考其附件周围资料来进行修正,因此可使得量测更加强固且可靠。

分析软体针对表面轮廓资料分析、修正以及图示提供完整的表面形貌呈现,更提供超过150种线或面的轮廓参数计算,其中包含粗度、起伏、平整度、顶点与谷点等参数资料,高通滤波、低通滤波、快速傅立叶转换以及尖点移除空间滤波等工具提供使用者进行高/低/带通讯号滤除,且软体亦具备多项式拟合、区域成长、整面及多区域调平方法,可灵活运用于资料处理与分析上。

在众多高科技产业中,诸如半导体、平面显示器、光纤通讯、微机电(MEMS)、生物医学与电子封装等,由于微结构表面轮廓的准确性决定了产品的效能与功能,在其制程中皆需针对微结构的表面轮廓品质进行监测。有鉴于此,Chroma 7503提供多种表面参数量测功能,如断差高度、夹角、面积、体积、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以满足业界与研究单位之需求。

Chroma 7503选配电动鼻轮后可快速进行不同倍率切换及选配电动移动平台可进行大面积接图功能,可应付产业界的各种应用需求。此外更加入弹性的模组化设计,可依用户端实际的应用需求进行搭配,让用户可在价格与功能规格之间取得平衡,是您提升效率及节省成本的最佳选择。

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三维光学轮廓仪

  • 干涉物镜:2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X
  • 鼻轮:
    • 手动旋转鼻轮 (5孔)
    • 电动旋转鼻轮 (5孔)
  • XY 移动平台:
    • 电动 300mm x 300mm;100mm x 100mm
    • 手动 70mm x 70mm