光电元件点测机 Model 58212-C

光电元件点测机
光电元件点测机
产品特色
  • 高速及高精度测试
  • 支援水平结构、垂直结构和倒装型芯片
  • 支援到8英吋晶圆
  • 支援不同电性测试范围(LD或LED)
  • 精准快速对位的扫描程序
  • 支援多点测试功能(multi-site)
  • 支援auto load/unload

Chroma 58212-C是一台精准控温、多点测试、自动化的外延片(Epitaxial Wafer)/芯片(Chip)探测针光电应用测试设备,提供快速且准确的光电性能量测,广泛的应用于雷射二极体(Laser Diode)和发光二极体(Light-Emitting Diode)等产品。

58212-C的点测系统采用了灵活的设计,提供不同类型的光电元件测试,包括水平结构(Lateral)、垂直结构(Vertical)和倒装晶片(Flip Chip);测试前的扫描程序可提供完整的晶圆扫描图以保证测试的精度;专利探针头可防止待测物刮伤并确保每一个芯片接触。

此机型提供多点测试(multi-site)设计,透过客制化的架构可支援一次下针测试多点位置,此设计可稳定测试并节省测试时间,增加测试效能。

透过Chroma的独特光学设计可取得精确且稳定快速的光学数据,如:光功率、中心波长、峰值波长、半峰全宽及色温等。量测光学的同时也可获取电性数据,如:顺向电流、顺向电压、漏电流、逆向崩溃电压、斜率效率、光电转换效率等,以上光电测试皆在一次下针的时间内完成。

软体操作介面及先进的逻辑演算法,可使得生产效益大幅提升;完善的测试报表与良率统计供使用者轻松掌握生产状况。

 测试项目

电源特性量测

  • 阈值电流 Threshold Current (Ith) 
  • 顺向电压 Forward Voltage (Vf) 
  • 漏电流 Reverse leakage Current (Ir) 
  • 逆向崩溃电压 Reverse Breakdown (Vrb)

光特性量测

  • 光功率 Optical Power (Po) 
  • 中心波长 Centre Wavelength (Wc) 
  • 峰值波长 Peak Wavelength (Wp) 
  • 半峰全宽 Full Width at Half Maximum (FWHM) 

 硬体设备

  • 自动化晶圆芯片点测设备
  • 电性测试模组
  • 光学测试模组
  • 选配ESD测试模组 (LED适用)

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